真空设备检漏
氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪,通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。
氢气的应用场合
氢气,化学式为H?,分子量为2.01588,常温常压下,是一种极烧的气体。
氢气是世界上已知的密度小的气体,氢气的密度只有空气的1/14,即在1标准大气压和0℃,氢气的密度为0.089g/L。工业上一般从或水煤气制氢气,而不采用高耗能的电解水的方法。
氢气一般出现在1.做还原气:金属加工。2.做保护气:金属加工。3.做燃料气:电子行业、玻璃行业。4.做冷却介质:电厂。5.做为化工介质:油脂加氢。6.做燃料用:液氢、航天、航海等。7.焊接行业。8.医院。
并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的
位置,可以通过对可yi位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。
与抽真空方式相反,嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向待测器件内充入一定氦气,
封闭测试端口,将嗅探探头连接至检漏仪,用嗅探探头对待测器件表面的可yi部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升,便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是,由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的,大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来清除,但仍会降低嗅探方式的灵敏度(嗅探方式xiao可检测漏率小于5×10-6Pa·L/s,而抽真空方式的小于5×10-10Pa·L/s)。
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