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 特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来科学研究、自动 化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的。特种气体的重要性：电子特种气体决定了集成电路的终良率和可靠性。由于电子气体用途多，用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和可靠性，特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

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