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轴承、减震维护?随着分子泵使用时间延长,分子泵轴承在高速运转中受到的磨损越来越严重,减震系统的减震能力越来越差,到一定程度后必须进行更换,否则可能出现更大程度的损坏。判断标准:分子泵的振动突然增大,声音出现异常;分子泵启动时间增长或无法达到正常转速。判断标准:分子泵的振动突然增大,声音出现异常;分子泵启动时间增长或无法达到正常转速。进口分子泵维修电话
由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好,因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级,抽速可以达到1000L/s,达到大抽速的压力区间是1~10-8Pa之间,因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。进口分子泵维修电话
清洗??分子泵使用一定时间后,在系统漏率和系统卫生没有变化的情况下,真空性能下真空性能下降很多,阿尔卡特涡轮分子泵联系电话,甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能。这时应对泵进行清洗。?注意!!?分子泵如果污染严重,则必须完全拆开,由技术人员处理。严禁未经培训和真空性能下降很多,甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能。这时应对泵进行清洗。授权的人员私自拆泵。进口分子泵维修电话
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含加热模块的磁悬浮分子泵主要用于半导体制造设备,在集成电路刻蚀等工艺过程中,部分工艺气体容易冷却凝结,附着在分子泵转子及内壁,造成分子泵转子不平衡量增大或抽气通道阻塞,影响分子泵的稳定运行。加上加热模块可以适当提高泵体温度,降低工艺气体凝结,提高分子泵稳定性及寿命。 磁悬浮涡轮分子泵维修
我们所称呼的“质谱仪单元”是氦气检漏仪的核xin部分。气体从检漏 仪的入口被导入质谱仪单元。在这里用高能量的电子束对带电的气 体粒子进行撞击 电子束利用金属丝在高温下产 生。如果中性气体粒子层的电子被撞击,它会从电子层脱出。结 果,带正电的气体粒子—离子—留了下来。大部分导入的气体粒子被电子之间的碰撞电离。 磁悬浮涡轮分子泵维修
分子泵的工作区间是有限制的,*大启动压强也要在100pa,直接大气启动只会长期处于过载状态运行,并无抽气效果。 磁悬浮涡轮分子泵维修
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罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气。阿尔卡特进口泵维修
它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似,工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触,
采用机械方法周期性地改变泵内吸气空腔的容积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀,从而获得真空的泵称旋转机械真空泵。改变吸气空腔的方式有水环式、滑阀式和旋片式等,这里先叙述旋片式机械真空泵。阿尔卡特进口泵维修
转动泵又称为容积压缩泵。它的原理是利用机械方法使一个工作室的体积周期性地扩大和缩小以达到抽气目的。它是一种前级泵,一般在工作室容积*小时和抽气管的入口接通,于是气体就进入工作室,直到工作室容积*大并重新与抽气管隔断的时候才停止; 以后工作室容积逐渐变小,气体就被压缩,直到压强大于1大气压时排气阀就打开而驱出气体。阿尔卡特进口泵维修
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