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Agilent公司利用干式涡旋真空获得为用户提供了高抽速,安捷伦Turbo-V81,低极限压强的真空泵产品。干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高性以及易维护等优势,是众多应用的理想前级真空获得产品。






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安捷伦SH-110是业内的干式密封涡旋泵,安捷伦,可以方便地组装到原始设备制造商(OEM)系统中。这种单级泵体积小巧,安捷伦Turbo-V6000, 抽速110升/分(频率60Hz) ,极限压力50 mtorr (0.07 mbar) ,许多终用户应用的理想选择。

SH-110泵符合欧盟(CE)、加拿大标准协会(CSA)和Semi S2-0200的要求。

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分子泵出现工作压力起伏大的原因和处理方法

故障剖析:吸进管道漏汽;泵挤出机螺杆与泵套不一样心;阀门沒有校准好,或压力过大,使安全法时开落闭。

解决方法:检查管道并维修好;维修调节或拆换;再次校准阀门或减少压力。



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