现在实验室常会用到各类分析仪器,这些仪器都需要使用载气和燃料气,这些气体的控制系统对于实验人员和价格高昂的实验器材的安全都是至关重要的。它必须确保这些气体的稳定性和安全性。多种分析仪器,如气相色谱仪,原子吸收,气—质联用仪,真空管道,ICP等等,这些仪器需要用到高纯气体,传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式,这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶,分别满足每台仪器设备的使用,但随着近年来实验室投资的不断加大,仪器设备的迅速增加,用气量也逐年增加,传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求,同时分散供气模式带来的实验室布局混乱,钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难。
目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。
特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,真空管道厂商,Cl2 等一些具有高危险性,应确保安全性的特气。公司提供从供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第i一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。
特种气体是光电子、微电子等领域,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精i确性和准确性。
工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医i药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案;逐步成为行业领i先的整体系统供应商。
减压器的使用要点
(1) 使用前应确认减压器是完好的,并检查有无油脂污染,特别是进口处的污物及灰尘等应及时清除。
(2) 检查气瓶是否有油脂污染,螺纹是否损坏,如发现有油脂或螺纹损坏,就不再使用该气瓶,并将这些情况通知供气单位,真空管道怎么样,清除气瓶阀(特别是阀口处)的油脂污染,修复螺纹。
(3) 把减压器装到气瓶阀上,将输入输出接头拧紧。
(4) 打开气瓶阀前,先要把减压器调节螺杆逆时针方向旋到调节弹簧不受压力为止。
(5) 打开气瓶阀前,先不要站在减压器的正面或背面。气瓶阀应缓慢开启至高压表指示出气瓶内压力。
(6) 顺时针方向旋转减压器调节螺杆使低压表达到所需的工作压力。如果太高应旋松调节螺杆,放出一部分气后重新调节。
(7) 当工作结束后,先关闭气瓶阀,真空管道供应商,然后打开设备上的阀把减压器内的气体全部排出。接着把刚才打开的阀门关好,逆时针方向旋转调节螺杆,一直到调节弹簧不受压为止。
(8) 减压器应妥善保存避免撞击振动,不要放在露天和有腐蚀性介质的地方。
(9) 减压器只能使用规定的气体。
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