对特气的危害性进行分析，通过本质安全设计，长春特种气体，消除安全隐患。根据行业规范，对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏，确保系统密闭性。特种气体是光电子、微电子等领域，特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。工业上，把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多，大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大，但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小，但根据不同的用途。

 电子特种气体种类多样行业集中度高，高纯气特种气体，细分领域整合开启进口替代新征程。2016 年半导体行业用电子特种气体市场规模达到 36.8 亿美元，同比增长 5.7%；国内方面集成电路用电子特种气体需求约为 25 亿元，预计到 2020 年将突破 68 亿元。特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料，根据不同气体的生产工艺和用途，可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。在半导体制造过程中涉及的材料众多，在半导体集成电路的生产过程中，从芯片生长到后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子特种气体，特种气体供应商，因此电子特种气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。

特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2，减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3，刻蚀工艺用到 CF4；特种气体分类：高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域；特种气体的重要性：正是因为电子气体在集成电路制造中的使用量大，应用范围广的特点。所以电子气体直接决定了芯片制造的良率 与可靠性等等。所以电子气体也被誉为集成电路制造中的“血液”。

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