体积流量的表示方法

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，气体流量控制模块哪家好，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是， 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位， 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。

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使用挥发性液体蒸发汽， 气压很低， 如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源，气压很低， 用普通MFC， 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明， 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC， 这时MFC的工作压差范围，气体流量控制模块报价， 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时，气体流量控制模块， 不能让汽化物在MFC中结露， 结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露， 可以对管路和MFC适当加温， 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上， 需要特殊购买高温MFC产品。

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气动控制

气动控制与液压控制相比，动作迅速、方便，使用的元件和工作介质成本低，便于现有机器设备的自动化改装，已经在国际上得到很大发展，成为热点之一。气动控制的缺点，是运动不平稳，有噪音，控制元件的体积较大。

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