真空系统常用名称①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

多级离心真空泵出水管口在出水池正常水位以上　　若是出水口在出水池正常水位以上，虽添加了水真空泵扬程，但削减了流量。如因地势条件所限，出水口有必要高出出水池水位，则应在管口加装弯头和短管，使水管变成虹吸式，下降出水口高度。

设底阀时，进水管下一节不是笔直的　　如这样装置，阀门不能自行封闭，形成漏水。正确装置办法是：装有底阀的进水管，下一节佳是笔直的。如因地势条件约束不能笔直装置，则水管轴线与水平面夹角应在60°以上。

干泵;国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。