在20世纪80年代ICP-MS的研究主要集中在仪器分析特点的讨论、潜力的发掘以及一些简单样品的分析上， 随着应用的深入和被分析样品的复杂化，90年代ICP-MS在一方面被用来完成极为困难的分析任务，其样品处理 和进样装置常常需要作特别的考虑和设计，甚至整个仪器都需改装，而在另一方面，作为快速、简便、有力的分析工具，ICP-MS正逐渐应用到生产或其它研究的例行分析中，每天可测量数百个样品，提供大量的数据。
就仪器本身而言，以扇形磁铁代替四极杆形成HR-ICP-MS的技术已经成熟并实现了商业化，这种高分辨率的能力在许多应用领域中都是很有价值的。以多接收检测器代替单接收检测器也是仪器发展的趋势，尤其是对同位 素比值精密分析来说这是极为必要的。多种仪器的一体化，如TJA公司的POEMSII型和III型将ICP-OES和ICP- MS融为一体，FinniganMAT公司的Sola型则可以实现ICP源与GD源的自动转换，仪器的操作软件将越来越易于操作且功能将越来越强大，整个仪器的自动化程度会不断提高。以飞行时间为质量分析器的ICP-MS现在已经由 LECO和GBC公司实现了商品化。
在所有ICP-MS技术的发展和改进中，电感耦合等离子体发射光谱仪价格，进样及联用技术始终是其为活跃的研究领域之一，尽管诸如HPLC、 IC、FI、ETV、LA等样品处理和进样装置已经实现了商业化并可很容易地与ICP-MS进行耦合，但这方面的研究 和应用仍将是今后ICP-MS发展的重点。FI已经发展成为一种在线自动化的样品预处理技术，并使多种分析技术 的在线联机检测成为可能，这对核工业中中、强性的样品分析来说往往是至关重要的。随着人们对生物学、核工业等领域中元素的存在形态日益重视，色谱与ICP-MS的联用技术已经得到了长足的发展和应用。
选择适合特定分析任务的 ICP-MS 质谱仪时，需要考虑以下因素：
元素分析范围：ICP-MS 质谱仪可以分析从 Li 到 U 的元素，但不同型号的 ICP-MS 质谱仪可以分析的元素范围不同。因此，在选择 ICP-MS 质谱仪时，需要考虑分析任务中需要分析的元素范围。
分辨率：ICP-MS 质谱仪的分辨率是指能够分离相邻质量数的离子的能力。高分辨率可以提高分析的精度和准确度，但也会增加仪器的成本和复杂度。因此，在选择 ICP-MS 质谱仪时，需要根据分析任务的需求来选择合适的分辨率。
灵敏度：ICP-MS 质谱仪的灵敏度是指能够检测到的浓度的元素。高灵敏度可以提高分析的精度和准确度，但也会增加仪器的成本和复杂度。因此，在选择 ICP-MS 质谱仪时，需要根据分析任务的需求来选择合适的灵敏度。
稳定性：ICP-MS 质谱仪的稳定性是指仪器在长时间内保持分析性能的能力。稳定性好的 ICP-MS 质谱仪可以提高分析的精度和准确度，但也会增加仪器的成本和复杂度。因此，在选择 ICP-MS 质谱仪时，需要考虑其稳定性是否满足分析任务的需求。
接口：ICP-MS 质谱仪的接口是指将样品引入质谱仪的装置。不同的接口适用于不同的样品类型和前处理方法，因此在选择 ICP-MS 质谱仪时，需要根据分析任务的需求来选择合适的接口。
数据处理和分析软件：ICP-MS 质谱仪产生的数据需要进行适当的数据处理和分析，以获得待测元素的浓度和同位素组成信息。不同的 ICP-MS 质谱仪配备的数据处理和分析软件也不同，因此在选择 ICP-MS 质谱仪时，需要考虑其配备的软件是否满足分析任务的需求。
总之，选择适合特定分析任务的 ICP-MS 质谱仪需要综合考虑分析任务的需求。
参数设置：如射频功率、离子源温度、气体流量等，这些参数会影响仪器的性能和分析结果。
质量扫描：可以设置质量范围、扫描速度等，用于监测和分析特定质量数的离子。
数据采集：控制数据的采集时间、积分时间等，以获取所需的分析数据。
校准和校正：进行校准曲线的建立、质量校正等操作，确保测量的准确性。
数据处理和显示：显示实时的质谱图、强度数据等，并提供数据处理和分析的功能。
系统状态监测：显示仪器的运行状态、气源压力、真空度等信息，以便及时发现潜在问题。
方法编辑和保存：可以创建、编辑和保存分析方法，方便后续实验的重复使用。
用户设置和权限管理：根据不同用户的需求，设置相应的权限和操作选项。
故障诊断和报警：当仪器出现故障或异常时，提供相应的诊断信息和报警提示。这些只是一般情况下 ICP-MS 质谱仪控制界面可能包含的功能，具体的界面布局和操作方式会根据仪器的特点和用户需求而有所不同。
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