曾有研究报道指出，利用吸收净化法处理含氟气体时，废气处理工程运维，在经过几级的吸收后，氟的吸收率会介于97%-98%之间。很容易溶于水，从而形成，又能和许多碱性物质发生反应，从而形成氟化盐。也很容易溶于水，从而形成和硅胶。  所以，采用水或碱液吸收的方法，会很轻易的脱除废气中的和。采用碱液吸收含氟废气中的HF和SiF，经常会用氨水、石灰乳和纯碱、溶液作为吸收剂，且脱效果较好，同时还能把含氟废气中的有害物质转化为有用物质，吸收液还能进行再生的循环利用。


挥发性有机物的理化性质千差万别，毒理性质、治理效果各有不同，因而相应的治理工艺也较为多样化，目前广泛应用的技术有冷凝法、吸收法、吸附法、光催化、生物法、低温等离子、燃烧法等工艺。每一种技术均有其适用对象和各自的优缺点。冷凝法适用于治理小风量高浓度废气，广泛应用于回收溶剂；吸收法适用于处理水溶性较好的有机物，常用作废气预处理工艺;燃烧法适用于高浓度高热值排放稳定且不含卤素的有机废气;生物法和光催化适用于有机废气的简单除臭，常用于污水站废气治理；吸附法适用于大多数有机物的吸附，具有较好的普适性，并适用于处理低浓度、间歇性排放有机废气。


有害物质提取与隔离法治理： 这种技术旨在将VOCs废气中的有害物质进行提取和隔离，并将剩余气体中的其他有机物质进行回收利用，不仅达到了废气的回收利用，也可以减少气体进去空气层后对环境的再次污染和重创。由于投资成本大，因此它一般多适于大型的工业领域，这些行业VOCs废气含量高，可提取和利用的价值较高。但是，随着我国经济的不断发展和技术的不断更新，有害物质提取与隔离法治理将会被逐渐广泛应用。


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