洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，细胞净化车间装修，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

山东净化工程中在确定集中或分散净化空气体调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和净化车间空气体的洁净度等级、面积和位置等因素。对于生产过程连续的洁净室、大型无尘室或净化车间、集中选址、噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，应采用集中净化空空调系统。山东净化工程中净化空气如果空调系统需要电加热，应选择管式电加热器，该电加热器应布置在高效空气过滤器的迎风面，并应配备防火措施。山东净化工程中，除直流系统和带值班风机的系统外，净化空调系统应采取反倾销措施，防止室外污染空气通过新风口进入净化车间。

净化车间的空气净化系统要注意什么？山东净化车间空气洁净系统由风淋室、气闸室、传递窗、层流罩、洁净工作台、FFU及生物安全柜等设备组成，其安装要求应按设备技术文件进行；安装设备的地面应平整，环境清洁，设备安装前应擦去内外表面的尘土和油污，设备经检验合格后应立即安装，尽快完工；设备在安装就位后应保持其纵轴垂直、横轴水平并有防移位措施，机械式余压阀的安装，阀体、阀板的转轴均应水平，允许偏差为2/1000，余压阀的安装位置应在室内气流的下风侧，并不应在工作面高度范围内。

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