高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，真空管道安装厂家，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，真空管道安装生产商，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

　　实验室气路改造安全要求

　　1、乙i炔铜盐、乙i炔气和气瓶不得与铜或含铜量超过70%的合金接触。所有附件不得使用这些金属。

　　2、气瓶和仪器之间应该有一个安全瓶，以防止吸回瓶中的现象发生，并造成危险。

　　3、如果气瓶发热或发生回火，立即关闭气瓶阀门，将气瓶移出室外空矿坑，将气瓶浸入冷水中，或倒入大量冷水降温，慢慢打开阀门并继续冷却，直到气体释放。

　　4、乙i炔、氢气和液化石油i气是危险的。

　　5、氧气虽然不易i燃，但助燃性强，不得接触污物、有机物。

　　6、使用腐蚀性气体。气瓶和附件应经常检查。不用时不要把它们放在实验室里。

气体管道安装

在实验室设计领域中，实验室供气系统的规划设计是相当重要的。不仅是给试验操作人员一个良好的工作环境，真空管道安装，更加是对试验人员的人身安全的一个保障。所以在实验室设计之初我们就应该把供气系统的设计规范考虑进去。相应等级的实验室就应该有相应的设计规范，这样才能完i美的设计出一个利于工作而保证安全的实验室。

一、气瓶间及气瓶的安全规范

（1）气瓶应专瓶，不能随意改装其它种类的气体。

（2）气瓶室严禁靠近火源、热源和有腐蚀性的环境。

（3）气瓶室必须使用防爆开关和灯具，周围禁止动用明火。

（4）气瓶室应有通风设备，真空管道安装直销，保持阴凉，气瓶室顶部应该留有泄流孔防止易i燃气体的聚集。

（5）空瓶与实瓶分区放置，气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。

（6）瓶阀、接管螺丝和减压阀等附件完好齐全，无漏气、滑丝、表针松动等危险情况，各类气压表一般不得混用。

（7）气瓶在储存、使用时必须直立放置，工作地点不固定且移动频繁时，应固定在手推车上，防止倾倒，严禁卧放使用。

（8）气瓶严禁靠近火源、热源和电气设备，与明火距离不少于10m，氧气瓶和乙i炔气瓶同时使用时，不能放在一起。

（9）使用后的空瓶，应移至空瓶存放区，并加上空瓶的标示，严禁空瓶与实瓶混存。

（10）气瓶中气体不可用尽，必须保持一定余压。

（11 ）气瓶须定期检验，不得超过使用氧气瓶、乙i炔气瓶，液化石油i气瓶的检验周期为3年、氮气瓶的检验周期为5年。

（12）气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对日用气量不超过一瓶的气体，实验室内可放置一个该种气体的气瓶，但气瓶应有安全防护设施。

（13）氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。

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