真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，氦测漏系统，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，高压柜氦测漏系统，空调冰箱中的雪种容器等等），板式换热器氦测漏系统，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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发电机氢气系统

(1) 发电机氢冷系统及气体置换装置能满足发电机充氢、自动补氢、排氢及中间气体介质置换工作的要求，包膜式氦测漏系统，能自动监测和保持氢气的额定压力、规定纯度及冷氢温度、湿度、CO2纯度等。

(2) 发电机氢冷系统为闭式氢气循环系统，热氢通过发电机的氢气冷却器由冷却水冷却。

(3) 发电机氢气冷却器采用散热形式。

(4) 发电机设置氢气干燥器，除了监测发电机内氢气用的氢气湿度在线监测仪外，氢气干燥器的出口处也装设具有远传在线信号的非氢气湿度仪。干燥装置能保证发电机在额定条件下机内氢气不高于－5℃同时又不低于－25℃。氢气干燥器设有循环风机。

氢气泄露报警器的检测范围是多少

关于氢气泄露报警器的检测范围是多少，一般请根据在《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准》附录 常见气体、蒸气特性中提到：沸点(℃)：-253 ;浓度 (v%) :下限4.0; 上限75; 蒸气密度(kg/m3N):0.09; 设置氢气检测仪报警浓度值时应该按照氢气这些特性来;

一般目前传统的氢气泄露报警器量程范围有：0～500ppm、0～1000ppm、0～2000ppm、0～5000ppm、0～20%Vol、0～50%Vol、0～100%Vol、0～100%LEL，所有在工业生产中一般根据需要选择合适的检测范围设置即可。

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