质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 

质量流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成严重损失。

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使用挥发性液体蒸发汽， 气压很低， 如何定制质量流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源，气压很低， 用普通MFC， 不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明， 定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC， 这时MFC的工作压差范围， 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时， 不能让汽化物在MFC中结露， 结露会影响MFC的正常工作。为了防止结露， 可以对管路和MFC适当加温， 但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上， 需要特殊购买高温MFC产品。

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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门，气体质量流量计控制单元多少钱， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程， 在工作的过程当中， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，气体质量流量计控制单元， 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa，气体质量流量计控制单元报价， 若压差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。

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