质量流量控制器
质量流量控制器是一种精密的流体控制设备,用于准确测量和控制气体的质量流率。其主要功能是在保持设定的质量流量的同时,对气体进行准确的调节和稳定输出。这种控制器广泛应用于各种工业和科学研究中需要严格控制气体流的场合,如半导体制造、化学分析仪器以及实验室研究等领域。
其工作原理基于热导式或压力差式的传感器技术来感知并计算通过的气体流量;再通过内部的微处理器对这些数据进行处理并与设定的目标值进行比较后调整阀门开度来实现准确的质量控制效果。此外还具有多种安全保护功能及远程控制接口便于集成到自动化系统中实现远程监控与控制操作。总之是现代化工业生产与科研实验中不可或缺的重要工具之一.
质量流量计产品原理
常用的质量流量计/控制器的种类按工作原理分主要有两种:热式和层流式。热式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游温度差来测量质量流量,温度差的大小与质量流量的大小有关,温差越大,质量流量越大。
层流式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游压力差来测量质量流量压力差的大小与体积流量的高低有关,配合气体的密度计算质量流量。
质量流量计概述
在气体流量的测量应用中,质量流量计是一种常见的测量仪器。质量流量计(MFM,Mass FIow Meter),是一种准确测量气体流量的仪表。质量流量控制器(MFC:Mass Flow Controller)集成 MFM 及控制阀门,不但具有质量流量计的功能,还能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动将流量恒定在设定值上,质量流量计厂家,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器作为稳流装置,可以手动设定或与计算机连接进行的气体稳流自动控制。
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