检漏仪的优点
1、多种语言和计量单位选择,可选中文界面。
2、135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术,金属密封结构。
3、新的电子线路及信号处理设计。
4、小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程。
5、快速清氦和快速响应。
6、测试口耐压高,可实现大漏检漏。
本产品信息由科仪提供,自动测漏设备,如果您想了解更多您可拨打图片上的电话进行咨询,科仪竭诚为您服务!
氦质谱试漏仪工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器.其灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡,与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,轨道半径
R ——离于偏转轨道半径(cm) B ——磁场强度(T)
M/z ——离子的质(量)/(电)荷比(正整数)
U ——离子加速电压(V)
由上式可知,当 R、B 为定值时,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
氦质谱检漏仪的结构和工作原理
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1 优于200 Pa 时,真空测漏设备,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,测漏设备,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,智能测漏设备,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20 Pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s。
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