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Au，Cu，Ba，Sn，Pb，Zn等金属的蒸汽，都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中，常混入低压力的惰性气体，以提高放电效率。激光切割机用的激光混合气体，二维激光切割机床用的四元激光混合气体，主要用于钢材的钣金加工。重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，激光混合气现货，如ArF， KrF， XeF， KrCl， XeCl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成ArF*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。

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