质量流量控制器厂家-广西质量流量控制器-科仪创新真空





质量流量计产品特点

产品特点,本产品集成触摸显示屏,可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等,广西质量流量控制器,操作方便,质量流量控制器厂家,实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。




质量流量计产品原理

常用的质量流量计/控制器的种类按工作原理分主要有两种:热式和层流式。热式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游温度差来测量质量流量,质量流量控制器厂家,温度差的大小与质量流量的大小有关,温差越大,质量流量控制器原理,质量流量越大。

层流式质量流量计/控制器的工作原理为:利用气体流过形成的上、下游压力差来测量质量流量压力差的大小与体积流量的高低有关,配合气体的密度计算质量流量。





质量流量计使用方法

用户通过气管和接头将气源和本设备的气体进口连接。气源的压力必须在规定的范围内(0.1~1MPa),用同样的方法连接设备出口和用气部位。然后接通电源,在显示屏选择气体的种类,设置流量和气体总量,设置完成后设备自己校准并执行设定值开始工作。相关数值可以通过显示屏查看,或者通过数据线以 4-20mA或者 RS485 协议与控制终端连接上传数据。可以使用随机配送的数据线连接査看的相关信息。(客户需要在订货时确认需要的信号输出接口类型)




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