真空设备检漏

检漏就是用一定的手段将示漏物质加到被检设备或密封装置器壁的一侧，氦检漏设备，用仪器或某一方法在另一侧怀疑有泄漏的地方检测通过漏孔漏出的示漏物质，从而达到检测的目的。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中，判断漏与不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化。

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氮气和氢气的混合气的用途

电子器件生产工艺中的应用在电子器件生产工艺中，为减少电能消耗，降低成本，都在研发和使用各种混合气。其间，以使用氮氢混合气为。用液氢和液氮汽化来取得氮氧混合气的办法，因为选用了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高。若从大型联合企业的副产物取得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮取得的氢气与高出几倍。由液氨分解取得的氮氧混合气，因为液氮来源不同，板式换热器氦检漏设备，大多数质量较差，其间仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外，液氮多来源于化肥厂，高压柜氦检漏设备，供应上较严重，故成本也较高。

真空检漏

超声波法

该方法实际上是听音法的一种。它是将泄漏声音中可听频率部分截掉，仅仅使超声波部分放大，以检测出泄漏。检测时，可以直接使用超声波检测器，根据检测仪表指针是否摆动，确定有无泄漏。也可以采用使超声波回到可听频率范围内鸣笛的方法。采用后一种原理制造的超声波转换器不仅在被试验物加压时可以使用，在抽真空时，由于吸入的空气发出超声波，因而，采用真空法时也可以使用。

超声波转换器由于只检测超声波部分，在普通工厂的噪音条件下，包膜式氦检漏设备，不受明显干扰，因此检漏效果很好。

该法的灵敏度与被试验物体的加压、减压状况、泄漏的大小、泄漏点与检漏器（探头）间的距离等因素有关。当泄漏点与探头距离很近时，超声波转换器的灵敏度可达1′10-2cm3/s。

检漏时将检漏器的灵敏度调到较大，一边移动探头，一边侦听，使能听到的超声波发出的声音达到较大。然后，再寻找发出超声波的位置，以便确定泄漏点。但在探头不易接近的地方出现泄漏时，就很准确地判断出泄漏点。这种方法操作简便，人为因素较小，不同检测人员所得到的检测结果基本相同。

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