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直接观察大试样的原始表面。它能够直接观察直径100 mm,高50 mm,或更大尺寸的试样,对试样的形状没有任何限制,粗糙的表面也能观察,这便免除了制备样品的麻烦,而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度(背反射电子象)。 

观察厚试样。其在观察厚试样时,能得到高的分辨率和真实的形貌。扫描电子显微的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间。但在对厚块试样的观察进行比较时,因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法,而复膜的分辨率通常只能达到10 nm,且观察的不是试样本身,因此,用扫描电子显微镜观察厚块试样更有利,更能得到真实的试样表面资料。



扫描电子显微镜是一种大型分析仪器,它广泛应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。 所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的,只是在结构和部件上稍有差异而已。在电子扫描中,把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描,把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。两者的扫描速度完全不同,行扫描的速度比帧扫描的速度快,对于1000条线的扫描图象来说,生物扫描电镜检测服务,速度比为1000。



像素和束斑的匹配并非指束斑完全小于像素框,束斑可以看成是一个衍射波,中间呈类似高斯分布,只要半高宽和像素大致相等则视为匹配。而此时束斑的大小是大于像素的。

而且扫描电镜是靠电子束的扫描运动,只要不同像素点覆盖区域的电子产额能够被探测器有效处理和区分,那电镜图片也就能区分。所以扫描电镜是完全可分辨比束斑更小的细节的,而有点地方说扫描电镜不能区分比束斑更小的说法是不够严密的。束斑是单点像素1.3~2倍左右,都是匹配的条件。



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