六.自动光学检测用于检查微孔质量

孔金属化前激光钻孔后，或金属化孔后微孔是可以检查的。孔金属化后经过AOI检查，所获取的信息证实孔内镀层覆盖的完整性，而不是金属与焊盘的结合状态。如果首道工序要求进行蚀刻，激光钻孔前进行铜导体进行敷形掩膜，于是在钻孔前需要对敷形掩膜附加检查步骤。检查钻孔后的环氧钻污，检测不良标记价钱，就是根据图形暗(非反射)环形的工艺特性采用反射的模式进行检查。反射的中心目标是带有铜的焊盘，即微孔的底部。而墨暗的凹处是介质材料本身的边壁而不是金属化镀层，俯视到是外层发光的范围内表面是铜。

AOI自动光学检测仪的分辨率应以像元的尺寸大小作为判别的条件，也就是空间分辨率来衡量。像素的大小不是判别AOI自动光学检测仪的检出能力的标准，准确地讲，像素大是决定单位面积的像元尺寸大小的因素。如果单位面积不同，海淀检测不良标记，像素再高也没有可比性。比如一台AOI自动光学检测仪的FOV为12*16毫米，如果这台AOI采用的是30万像素的相机，那么这台AOI的分辨率只有25微米，它只能检测0402以上封装尺寸的元件。但如果这台AOI自动光学检测仪采用的是200万像素的相机，那么这台AOI的分辨率就变为10微米，就可以检测01005以上封装尺寸的元件。

在印制板的铜的表面检查显影后的图形使用的更为普遍。对显影后的图形检查，主要侧重点检查的是图形的对准程度和质量缺陷，同时也可以通过对显影图形的检查，检测不良标记厂商，也可以及时发现光具(底片)图像是否有缺陷或其它如灰尘、划伤或沾污，检测不良标记厂家，或曝光机存在的其它问题。使用AOI对表面图形的检查，就是利用图形介于光敏抗蚀膜的颜色反射能力低和铜颜色反射能力高的差别进行检查。因为抗蚀剂层的颜色发暗，因此两者比较容易好对比。

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