使用质量流量控制器注意事项

使用质量流量控制器有四怕:

怕粉尘， 若粉尘进入流量计会堵塞传感器和分流器， 造成测量误差， 要求在进气口前加装过滤器;

第二怕液体和油污进入MFC， 会造成失控， 如果MFC的出口接有液体罐， 需要在MFC出口加上单向阀， 防止液体回流;

第三怕使用潮湿的腐蚀性气体， 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈， 造成MFC通道损坏， 因此要求在使用腐蚀性气体前， 要对气体和MFC管路系统进行干燥处理;

第四怕在使用强腐蚀性、有毒等危害性气体时不按安全规则操作， 有可能造成产品损坏和其它更严重的损失。

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体积流量的表示方法

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是， 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位， 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。

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质量流量控制器在高压条件下如何使用?

质量流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:1，气体质量流量计控制单元多少钱， 是要选择耐压符合要求的MFC; 2， 是要挑选工作压差范围大的产品型号;  3， 要在MFC气路前面加减压阀， 稳定入口气压，陕西气体质量流量计控制单元， 在MFC下游加背压阀， 稳定反应室和MFC出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀，气体质量流量计控制单元公司， 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点，  MFC就能够在高压条件下稳定工作。

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