真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵正确组合

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，干式螺杆真空泵报价，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

真空泵漏气怎么办

在日常的企业使用中，我们在使用水环式真空泵的时候有可能会出现漏气的现象，干式螺杆真空泵供应商，拧紧水环真空泵的所有联接螺栓，拧紧填料压盖，紧紧地包缠管道及仪表与其它部件连接的地方。或者更换垫片、填料。对于空气泄漏之处，干式螺杆真空泵，还可以涂上油石灰等作为临时的补救措施。轴承歪斜使叶轮倾斜地装在泵体中。对于单作用泵而言，其轴向间隙不均匀，叶轮旋转时，必然会有一部分与侧盖摩擦，擦伤侧盖和叶轮端面，使轴向间隙增大。压缩腔气体在通过增大了的间隙时，干式螺杆真空泵生产厂家，大量地泄漏到吸入腔里去，使真空度或排气压力降低。这时必须将水环真空泵的轴承拆下来进行修理，然后再进行正确地安装。

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