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ALCATEL阿尔卡特ATH1000M磁浮分子泵

我司对Alcatel ATH1000M分子泵维修保养内容如下：＊超声波全方面清洗转/定子叶片及腔体并烘干＊更换了全套陶瓷轴承，普发进口分子泵维修费用，及密封件等损耗品＊马达线圈阻值测量，普发进口分子泵维修推荐，转子定子间隙测量＊根据ISO1940/1& ANSI S2.19，调整测试动平衡至Ｇ0.１6标准＊测试0-42000rpm启动时间<6分钟 *测试极限真空值<1.0*10－7mbar *持续模拟生产现场测试24小时＊0-20KHz震动频谱加速度分析＊6000-42000rpm全转速动平衡分析及校准＊Pfeiffer HLT560氦质谱检漏仪测试分子泵的渗漏率小于2.0*10－9mbar*L/s

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广州潽拓光电科技——LEYBOLD真空泵SV300

特点及用途：

-从***气压导***压力之间皆可运转使用

-在低真空压下，仍可保持良好的抽气速度、

-低噪音、低震动

-内置出口滤芯，可到99.9%的油气过滤效果

-空气冷却，经济方便（也可选择水冷冷却）

-进气口配置有止回阀，避免泵浦停止时，真空油会逆流

莱宝的sogevac系列单级油封旋片泵的主要技术参数为：

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广州潽拓光电——INFICON IKR 251高真空规

本产品的 型号为IGG25500， 输出信号是模拟型， 品牌为INFICON， 种类是真空度， 制作工艺为冷阴

该产品一般用于半导体、光学镀膜行业，为inficon定制产品。

优点：

■测量范围广：5 x 10-7～1 pa■全金属冷阴极陶瓷传感器■新型几何电极提供了很好的点火性能■降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使在溅射过程中也一样■阳极环和钛阴极可清洗，普发进口分子泵维修报价，更换容易■小磁场强度测量■ led指示灯电源和等离子点火■对数模拟输出信号■ fieldbus总线接口(profibus db， devicenet)，集成到真空系统的网络通信

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