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分子泵必须在分子流状态下工作，在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距，而气体分子的平均自由程长度会随着容器压力下降而增加，因此分子泵如果直接抽取大气，反而无法显示出它的优*性。1.k分子泵维修联系咨询

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 分子泵的清洗非常重要，如果前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空度，在排除漏气的情况下，说明分子泵内部脏化了，就需要进行清洗。分子泵的清洗分为直接进行清洗和拆卸清洗，前者适用于内部不太脏，后者用于内部严重脏化，1.k分子泵维修联系咨询

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安捷伦agilent真空泵维修注意事项：

1）保证气路、水路正确连接，不得漏水、漏气；

2）本泵能抽除含有少量尘埃气体，但化工反应过程中，若有大量的尘埃，

应先通过化工zhuan用过滤器之后，在连接安捷伦agilent真空泵，切忌不经过滤器，直接用本泵抽含有大量粉尘容器；泵可以在低于2*1了Pa的压力下连续工作，不可以用此泵长时间工作在高于2*1护Pa的压力范围；

泵的安装环境温度在0-40℃范围内：如环境温度低于0℃，停泵时必须用压缩空气吹干泵内冷却水，防止冻裂泵体；

如在阴冷潮湿的环境或抽除弱酸气体的环境使用，停机前抽入一定量的干燥空气；如遇突然停水，河源瓦里安涡轮分子泵，停水以后应即刻停泵，否则泵会因过热而卡死或烧毁电机等；泵工作时不要频繁起停，这样会影响泵的寿命。

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电压的不稳定，瓦里安涡轮分子泵修理，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

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振动频率为60%-100%工作转速，或者是密封间隙过大，护圈松动，密封磨损

处理方法：检查、调整或更换密封；

振动频率为2倍工作转速，不对中，联轴器松动，密封装置摩擦，壳体变形，轴承损坏，支承共振，推力轴承损坏，轴弯曲，不良的配合

处理方法：检查，采取相应措施，修理、调整或更换；

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