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我国特种气体行业在 2006 年后进入快速发展阶段,广泛应用于集成电路、显示面 板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、环保和新兴产业领域,特种标准气体严格意义上应称为标准校正气体,是一种高度均匀,电子特种气体价格,稳定性良好和量值准确的气体,它可以是单一的纯气体或高纯气体,也可以是由多组分气体配制而成的混合气体。标准气体属于标准物质之一,故又称为气体标准物质。电子特种气体是集成电路、平板显示、发光二极管、太阳能电池等半导体行业生产制造过程中不可或缺的关键性化工材料,被广泛的应用 于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。




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