氦检漏系统主要用于检测真空设备或容器中的微量泄漏，全自动氦检设备，以保证其密封性能。其中一种常用的方法是使用超声波法进行测量的原理。
具体来说：当声源（通常为20kHz）发出的超声信号进入被测试的物品后发生反射和折射现象返回给；如果存在微小泄露物时就会在物体表面形成驻留压力场，产生一个与该物体的温度、湿度以及大气压紧密相关的声音振荡频率即回音或者说是杂散噪声；通过测量这种由可听声组成的复合噪音的大小即可得知相应的漏洞大小。

氦质谱检漏仪是一种高灵敏度的气体检测仪器，主要用于测量真空系统中的微小泄漏。其原理是利用氦气作为工作流体在磁场中发生的质量分离来探测和定位系统的任何缺陷或损坏位置的设备之一。
该设备的优点包括高度敏感、快速响应时间和高分辨率等特性，适用于各种不同的应用领域，如航空航天、核能工程、石油化工等领域。同时它可以实时监控压力变化并给出指示信号以及可实现远距离移动检查表面无损时读数记录及数据处理管理等功能。

检漏系统是一种用于检测泄漏的安全系统。它通过检测环境中的泄漏来防止意外事故的发生。它通常使用传感器来检测泄漏，例如气体、液体或蒸汽。检漏系统包括一个检测器、一个报警器和一个控制器。检测器会检测到泄漏，并将泄漏的信息发送给报警器。报警器会发出警报，通知相关人员采取措施。，控制器会控制机械设备来关闭泄漏源。

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