检漏仪调成真空模式，对检漏仪和机组进行连接，开启检漏仪，当真空度达到检漏仪开检压力后，对机组可能的泄漏点吹喷氦气，当氦气泄漏量达到检漏仪设定的报警值时，检漏仪报警。吹喷氦气时应当注意以下几点:从机组的下方到上方，靠近检漏仪处到远离检漏仪处逐步喷吹。检出大漏后要经过修补再检小漏。当存在两个邻近的漏孔时，盖住其中- -个漏孔再检测另一个。当喷吹某点时，检漏仪显示值有变化但较为缓慢，表明邻近的其他地方有较大泄漏。检漏场地应有良好通风，但不影响喷出氦气的气体流向。总结:氦质谱检漏仪在化锂吸收式制冷行业广泛应用以后，使制冷机的寿命有着明显提高，保证了化锂制冷机15年以上的使用寿命

真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。(1)极限压力合格，升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。

仪器工作在稳定的状态，家电行业检漏设备，在仪器的检漏口喷一定量的氦气， 分别采取持续抽、空气清氦、氮气清氦的清氦方式，仪器再按开始键，记录清氦所需时间。而通过实验表明，利用氮气来清氦的效率是高的。鉴于仪器在检漏的过程中氮气清氦的性，对仪器的系统进行改进。增加清氦电磁阀。在氦质谱检漏仪中增加氮气清洗设置，有效的避免了在检漏过程中，氦气残留对仪器检测灵敏度的影响，另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置，即仪器在检测到大漏时，仪器自动停止，防止大量氦气再进入仪器中。再者将前级泵换成干泵也是不错的选择，利于对仪器的清氦，保证仪器检测的高灵敏度。

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