氢气检漏法的主要设备

(1)检漏仪：采用上述工作原理制造的氢气检漏仪，由于氢气的上述性质，其灵敏度可以达到与氦检相同水平。

(2)示踪气体充注控制器：对于批量生产的用户，采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作，可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。

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氦气

氦气穿透能力强，且易，对漏点有很好的检出能力，可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部，氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法匹敌，但要比性检漏方法简便。氦气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。

气密检漏设备

1. 气密检漏设备检测产品有两种比较直观的产品，真空箱式氦测漏系统，一种是使用测试气管直接连接产品的充气孔(产品自带充气孔)，再进密性测试，即采用直接检测方法，另一种是将产品放置在仿形模具内(根据产品外形定制)，对仿形模具内腔进行充气，然后进密检漏设备。

2. 选择上述不同两种方法检测产品的气密检漏设备。仅在气密检漏设备上选择相应产品的泄漏检测程序，程序根据产品的检测标准，提前设定充气时间、保压时间、检测时间、泄压时间及工装治具的基本检测动作。

3. 手动打开气密检漏设备或工装夹具的启动按钮，气密检漏设备自动进入检测环节，可在10-30秒内就能完成检测。

4. 检测时如果产品有大泄漏，环保柜氦测漏系统，即时被判定为不合格。如泄漏值在标准范围内，则合格。泄露值超出标准范围，即是不合格。

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