根据清洗介质的不同，目前半导体清洗技术主要分为湿法清洗和干法清洗两种工艺路线。湿法清洗是针对不同的工艺需求，采用特定的化学药液和去离子水，对晶圆表面进行无损伤清洗，半导体氧化设备供应商，以去除晶圆制造过程中的颗粒、自然氧化层、有机物、金属污染、牺牲层、抛光残留物等物质，可同时采用超声波、加热、真空等辅助技术手段；干法清洗是指不使用化学溶剂的清洗技术，主要包括等离子清洗、超临界气相清洗、束流清洗等技术。

网板清洗机有三项清洗工艺，分别是清洗溶液的清洗、超声波的漂洗、风切的除水项溶剂清洗的工艺是应用事前在钢网清洗机内部装配好的夹板夹住钢网，并自动化控制，半导体氧化设备，使网板往复慢拉，保证每一个位置都能被喷淋到位，清洗溶剂在超声波的作用下产生上万的空化气泡。

由于不时构成的小气泡在正压的环境下疾速，后的气泡会构成一种冲击力气，半导体氧化设备厂家，即我们放手去感受会有被无数针扎的觉得，假如频率再高一点，总觉得本人的手掌能被击穿，所以，半导体设备，大家千万不要随便去尝试。数以万计的气泡决裂产生的力气能够快速击落黏在网版上的锡膏红胶，加上一个高压的喷淋系统，能够说是全网清洗无死角了。

随着半导体芯片工艺技术节点进入 28 纳米、14 纳米等更等级，工艺流程的延长且越趋复杂，产线成品率也会随之下降。造成这种现象的一个原因就是制程对杂质的敏感度更高，小尺寸污染物的清洗更困难。解决的方法主要是增加清洗步骤。每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过 200 道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性。

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