液相外延技术(Liquid Phase Epitaxy，简称LPE)1963年由Nelson等人提出，1200液相设备怎么样，其原理是:以低熔点的金属(如Ga、In等)为溶剂，以待生长材料(如Ga、As、Al等)和掺杂剂(如Zn、Te、Sn等)为溶质，1200液相设备哪里有，使溶质在溶剂中呈饱和或过饱和状态。通过降温冷却使石墨舟中的溶质从溶剂中析出，在单晶衬底上定向生长一层晶体结构和晶格常数与单晶衬底足够相似的晶体材料，使晶体结构得以延续。




其中倾斜法是在生长开始前，使石英管内的石英容器向某一方向倾斜，并将溶液和衬底分别放在容器内的两端；垂直法是在生长开始前，将溶液放在石墨坩锅中，而将衬底放在位于溶液上方的衬底架上；滑舟法是指外延生长过程在具有多个溶液槽的滑动石墨舟内进行。在外延生长过程中，可以通过四种方法进行溶液冷却：平衡法、突冷法、过冷法和两相法。

四元泵（G1354A）

通过高速比例阀控制形成低压四元梯度混合，标准配置在线真空脱气机。

流速范围：0.001~10mL/min，鹤壁1200液相设备， 0.001mL/min 步进

压力范围：0~40 Mpa（0~400bar，1200液相设备厂家，0~5880psi），<5mL/min；

0~20 Mpa（0~200bar，0~2950psi），0~10mL/min

梯度组成精度：<0.20% SD（0.2 及 1mL/min）

梯度组成比例范围：0~95% 或 5~100%

梯度延迟体积：800~1100μL（与反压相关）

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