氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。检漏仪自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，汽车行业检漏公司，可外接打印机。氦质谱检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。检漏仪高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视，氦质谱检漏仪的方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。

氦质谱检漏仪是如何工作的?氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成東，并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有-定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M z恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。

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