氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，主要用于真空系统中微小渗漏的查找和定位。它主要由主机、进气管道组件、离子源、收集极、高压电源、探测器等部分组成。
该系统的功能是利用高速流动的高纯度惰性气体（通常是氮或）流将待测区域与外部环境隔离，如果存在泄的话，那么在压力梯变的影响下空气中的分子会从有缝隙的地方跑出去形成气泡，从而产生声学信号或者叫作粒子束，通过测量这个声音可以确定具体的漏洞位置以及大小等信息。这种技术对各种材料均不敏感而且对于很小的体积也可以进行准确的测定，因此广泛应用于半导体工业中硅片芯片封装环境的监测以防止晶圆损伤；也应用于大规模集成电路生产线上检查每个密封件是否有缺陷。

真空箱氦检漏系统主要用于检测电子产品的密封性能，常用于手机、笔记本电脑等产品在量产线上的可靠性和一致性测试。该系统的操作原理是：首先将待测电子产品放入真空气氛室中抽真空并充入高纯度惰性气体——氦气；然后通过的信号发生器产生高频电脉冲或机械振动源（声学法），均匀地辐射到被测样品上形成特定的应力场；接着利用示踪粒子“氦”原子无色透明且易与环境介质充分渗透的特点，使氦气的浓度能够迅速传递到达泄漏点并在其中弥散和溶解起来；使用灵敏的测量仪器对抽取到的含有微小泄露物的样本进行定量分析以得出样品的实际压力值并与参考标准相比较来判断是否合格。

氦质谱检漏仪是一种用于检测和测量容器和管道内部气体泄漏的仪器。它使用高能电离粒子轰击气体样品，使其离子化，并通过质谱仪测量离子的质量，inficon氦气检漏仪，从而检测出气体的泄漏。该系统通常由气体检测器、质谱仪、数据采集和处理系统等组成。检漏仪可以检测到微小的气体泄漏，对于液体和气体混合物的泄漏检测也有较高的灵敏度。该仪器广泛应用于石油、化工、制药、电力等行业，用于监测和防止气体泄漏事故的发生。

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