真空气氛炉使用步骤：

1.开机械泵，开真空阀，抽真空至真空压力表达到-0.1mPa后关闭真空阀。

2.开保护气体减压阀，开真空阀，对炉膛充气，使真空压力表回至“0”后，关闭真空阀。

3.重复步骤①和②三次，使炉膛内的空气被排尽。

4.关机械泵。对炉膛充气使真空压力表回至“0”后，打开放气阀，调节微调阀，使气体流量稳定，出气端水泡连续。

5.对炉膛进行加温，应按“调节仪”进行，结合实验工艺要求操作。

6.实验结束，炉子温度降至实验工艺要求范围后，先关闭放气阀，在关闭真空阀，关微调阀和气体减压阀。

7.关闭总电源、循环水。

气氛炉炉膛清洗常用以下方法：

一  保护气体替换法：

操作步骤如下：

1.保护气体一般应在气氛炉升温前通入炉内；

2.保护气体可通过上、下、后三个洗炉口通入，应将排气口的针阀开至较大，以利于炉内空气尽快的排出；

3.一般向炉内通入炉膛容积10倍左右的保护气体，可使炉内氧浓度降至10ppm左右；

4.当炉内氧浓度符合产品工艺要求时，可将排气口的针阀关小，以节约保护气，关闭洗炉口，由进气口通过流量计进入；

5.在气氛炉使用过程中，东莞气氛炉，炉膛内必须维持正压，以防炉外空气进入炉膛。

、处理HF时，高温真空气氛炉，请戴手套，如不小心碰到HF时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%之水，不锈钢气氛炉，揉擦伤处15'。

长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。

晶片进出炉口时，承接boat的holder，请勿碰触炉管口，气氛还原炉，以免污染炉管。

石英玻璃制品请小心使用，以免，引起严重割伤。

避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。

破晶片、滤纸、棉花棒等，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。

要做好日常的保养工作。如清理炉膛残留杂物等。

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