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按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

氦质谱检漏背压法

背压法适用于那些行业？背压法主要用于检漏各种电子元器件。

采用背压法进行泄漏检测时，首先将被检测产品放入高压氦气室中，浸泡数小时或数天。如果被检测产品表面有漏孔，氦将通过漏孔压入被检测产品的内部密封腔，从而增加内部密封腔内的氦分压。然后取出被检测产品，梅州英福康氦气检漏仪，将表面残留的氦气吹出，然后将被检测产品放入与检漏仪连接的真空容器中。被检测产品密封腔内的氦气将通过漏孔泄漏到真空容器，英福康氦气检漏仪保养，然后进入氦质谱检漏仪，以测量被检测产品的总泄漏率。检漏仪给出的泄漏率值为测量泄漏率，需要通过转换公式计算被检测产品的等效标准泄漏率。

背压法的优缺点

背压法的优点是检测灵敏度高，可实现小型密封容器产品的泄漏检测，可批量检测。

背压法的缺点是大型密封容器不能泄漏，否则由于密封腔体积过大，加压时间过长。此外，每个测量泄漏率对应两个等效标准泄漏率。仔细检查后，需要采用其他方法进行粗略检查，以消除大泄漏的可能性。

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什么是电离真空计的外控接线方法？有什么益处？

答：如规管的栅压做为电子器件加快极，而板极做为正离子搜集极，此类接线方法即是外控接线方法。其作用是电子器件在提速中不容易被栅丝捕获，并受钨丝和板极的电位差抵触，可以在钨丝与板极的室内空间，不断越过栅压往返震荡，如此，可显着提升测量的敏感度。

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波尔登规(Bourdon)

细的铜管受气体压力不同会有舒展现象，会带动杠杆和齿轮旋转，使得指针指示在不同刻度上，即可读出相应的气压值。

这种规的测量范围一般在100Pa至1atm。

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对于不一样电级构造的inficon电容塑料薄膜真空计微电容测量电路应向着便于集成化、微型化的角度发展趋势。因为根据电源开关电容法的微电容测量电路便于集成化，而静电平衡构造的微电容测量法有扩宽动态性测量范围的优点，因而根据二者融合的微电容测量电路有希望完成对inficon电容塑料薄膜真空计总体测量特性的提高。

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利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

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