广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空泵设备保养

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对真空泵的主要部件进行规范化的保养和维护，关系着真空设备的使用安全和使用寿命。通过正确地对真空泵进行日常保养，磁悬浮分子泵，确保设备正常、可靠、稳定、经济地运行，确保设备可满足生产工艺要求，产出合格产品。真空泵在运行中必须严格按照各类泵的技术规格使用，不允许长时间超过允许高入口压力的情况下工作。

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美国Agilent TwisTorr 304 FS高真空涡轮分子泵

高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转（每分钟几万转）的转子，转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步，市场不仅对泵性能的要求越来越高，更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽，而安捷伦 TwisTorr 技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上，这样就可以在有限的空间内集成多对拖动级转子盘和定子盘，节省空间的同时又能提率和性能。

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安捷伦SH-110是业内的干式密封涡旋泵，可以方便地组装到原始设备制造商(OEM)系统中。这种单级泵体积小巧， 抽速110升/分(频率60Hz) ，极限压力50 mtorr (0.07 mbar) ，许多终用户应用的理想选择。

SH-110泵符合欧盟(CE)、加拿大标准协会(CSA)和Semi S2-0200的要求。

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