投入段：

2-3个承载位置，传感器感知工装篮有无，采用气缸升降移载方式投入，河北单工位喷淋清洗机生产厂家，作动：Z向气缸上升 → X向气缸右移 → Z向气缸下降 → X向气缸退回原点 → 依循此方式将工装篮投入到洗净承载座上.注：本机构设有程序保护功能及SENSOR检知。

洗净段：

主要构成；承载位1个，洗剂槽2个，喷淋槽1个，洗净槽2个，慢提拉槽1个。

承载位：1个，工装篮移入承载位置之后，立刻送入后段洗剂槽。

洗剂槽：2个，使用洗剂(人工添加)+纯水，配超声震荡加强清洗效果，超声强度1800W，频率40/80kHz双频选择，洗剂槽温度设置在40-50度。

喷淋槽：1个，喷淋纯水，纯水来自后段洗净槽，喷淋时需要左右往复移动以增强喷淋效果，温度在40-50度。

洗净槽：2个，纯水，配超声震荡加强清洗效果，超声强度1800W，频率40/80kHz双频选择，洗剂槽温度设置在50-70度。

此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学试剂很少，对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。

该机器设备对于所清洗的目标和所应用的大流量喷洗技术性，偏重于在下列好多个层面作尤其的解决：1整个机械为封闭式构造，架构采用碳素钢框架构造电焊焊接喷涂解决，框架焊缝焊后打磨抛光整平，插口齐整，制做美观大方；底端安裝有调整底脚，便捷校正。2清洗机内腔及储液箱，全部与水触碰的壳体、管路，过滤装置机壳、泵壳及必需的装备均采用厚壁管不锈钢板材制做；3根据自喷能够 消除产品工件的油渍残渣，喷洗工作压力0.4-0.6Mpa；4喷洗腔身体配有自喷管，自喷管上用不锈钢喷嘴，喷嘴及喷头能迅速拆换、拆装，流液遮盖齐备，清洗工作压力有效并可调式，确保清洗品质；5应用清洗液均应用单独的过滤系统能够 确保长期性的清洗；6装有自喷储液槽，手动单工位喷淋清洗机生产厂家，用不锈钢板制做，用隔板分为好多个地区，各自完成对清洗液的过虑、加温、隔板分油；采用电加热器方法，储液槽外裹保温材料，全自动单工位喷淋清洗机生产厂家，储液箱配有进水管、出液口；7储液槽有低液位仪灯闪动警报系统；8在人体的出液口配有过滤网，热对流到储液箱的液态开展粗过虑，过滤网能便捷的从机器设备上取下清除；9有效的清洗加工工艺进而做到好的清洗实际效果；

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