直线电ji定位精度可达0.1μm。“旋转伺服电机+滚珠丝杠”较高达到2~5μm，且要求CNC-伺服电机-无隙连轴器-止推轴承-冷却系统-高i精度滚动导轨-螺母座-工作台闭环整个系统的传动部分要轻量化，光栅精度要高。

       若想达到较高平稳性，音圈电机供应商，“旋转伺服电机+滚珠丝杠”要采取双轴驱动，直线电机是高发热部件，需采取强冷措施，要达到相同目的，直线电机则要付出更大的代价。寿命方面直线电机因运动部件和固定部件间有安装间隙，无接触，音圈电机报价，不会因动子的高速往复运动而磨损，长间使用对运动定位精度无变化，适合高i精度的场合。而滚珠丝杠则不适合，滚珠丝杠则无法在高速往复运动中保证精度，因高速摩擦，会造成丝杠螺母的磨损，音圈电机，影响运动的精度要求。

       短行程高频率直线电机——SUPT音圈电机

       市场上圆柱型音圈电机系列应用相当广泛。这种电机有很高的加速率，能够产生0.7N-1000N的强大动力，而其行程少于50mm。该款电机主要应用在半导体、航空、汽车等领域，包括阀门制动器，小型精密替换测量仪、振动平台以及主动式减振系统等众多方面。

高压电机维修检查电机的外表有无裂纹，各紧固螺钉及零件是否齐全，惦记的固定情况是否良好。

音圈电机特点：

SUPT摆动型音圈电机系列采用矩型系列产品的技术，将矩形系列产品予以弯曲，以形成一定的优先角度定位系统。其典型的扭矩达到100度，扭力达 50 N·m。摆动型系列产品典型应用于激光技术中的镜面定1位器，摆动型阀门制动器、摆动型定位系统以及飞行控制器等方面，涉及半导体行业、自动化、飞机工业领域。与U型直线电机和平板型直线电机相比它可以提供更好的高频响应特性，可做高速往复直线运动，特别适合用于短行程的闭环伺服控制系统。音圈直线电机的控制简单可靠，无需换向装置，寿命长。SUPT音圈电机，是一种将电能转化为机械能的装置，音圈电机驱动，并实现直线型及有限摆角的运动。它利用来自磁场或通电线圈导体产生的磁场中磁极的相互作用产生有规律的运动。因为音圈电机是一种非换流型动力装置，其定位精度完全取决于反馈及控制系统，与音圈电机本身无关。采用合适的定位反馈及感应装置其定位精度可以轻易达到10nm，加速度可达300g（实际加速度取决于负载物具体工作状况)。