注射泵产品

1 注射泵 DLSP 520 Pro

2 注射泵LSP02-2B

技术指标LSP02-2B

工作方式 ：注射、拍取、先注射后胜取、无拍取后注射、连续

通道数量： 2

zui大行程 ：140mm

行程分辨率： 0.156um

线速度范围 ：5um/min-130mm/min (液量=线速度X注*器内截面积]

线速度调节分辨率： 5um/min

行程控制精度： 误差E士0.5%行程注zui大行程的30%时》

额定线性推力>180N

注*器选择 ：内置主要厂家、主要型号注she器供选择

注*器自定文： 可直接输入注she器内径

流量校正： 通过校正程序获得更为jing确的液量

显示参数选择： 液量、流量或线速度

掉电记忆 ：重新上电后保持掉电前的参数设置

通信接口： RS495

外形尺寸 ：280X250X140(mm)

适用电源 ：AC 196V-240V/40W

工作环境温度： 0°C~40°C

工作环境相对湿魔<80%

SU8模具制备流程

一、备片

从化学品存放区取出清洁的硅片（确保硅片表面无尘）。

匀胶

1）打开匀胶机，将硅片放置在匀胶机托盘上，打开真空开关，确保硅片固定在托盘上不动；

将SU8光刻胶滴在硅片中间，根据光刻胶的厚度和制备要求设置匀胶机转速和时间。（举例说明：目标胶厚度50um，光刻胶型号：SU8-2075，1段500转8s，2段1800转30s）

使用方法

该设备操作简单，易于上手，显影机，具体操作如下：

一、曝光前准备工作

1、硅片处理：确保待曝光硅片经过匀胶处理，表面干净平整，没有明显的污渍或破损。

2、选择光刻板：根据项目需要，选择合适尺寸的光刻板，本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。

3、设备检查：仔细检查设备，确保所有部件处于正常工作状态，确保操作环境良好。

二、曝光操作步骤

1、安装硅片：将待曝光硅片平放在设备的载台上，确保位置准确。

2、放置光刻板：将光刻板平放在硅片上方，如果使用菲林掩膜，需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。

3、设定曝光参数：使用控制面板设置曝光时间和强度，根据具体需求进行调整。

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