氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的气体检测仪器，主要用于探测微量的泄漏物质。其工作原理是利用高压电离室产生的高压离子束轰击惰性气体（如He）分子，使它们解离并释放出正、负粒子或电子，形成原子簇模型——由大量的单核和双核对许多具有一定能量的自由玻尔态的束缚粒子和游离电子组成的微观体系结构；这些带有一定能量的状态在一定的空间范围内存在着库仑场分布不均匀而受到激发时就会发射特征X射线作为示踪信号源来检查工件上的气密性和确定缺陷的位置及大小。

氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，主要用于真空系统中微小渗漏的查找和定位。它主要由主机、进气管道组件、离子源、收集极、高压电源、探测器等部分组成。
该系统的功能是利用高速流动的高纯度惰性气体（通常是氮或）流将待测区域与外部环境隔离，空调制冷系统氦检解决方案，如果存在泄的话，那么在压力梯变的影响下空气中的分子会从有缝隙的地方跑出去形成气泡，从而产生声学信号或者叫作粒子束，通过测量这个声音可以确定具体的漏洞位置以及大小等信息。这种技术对各种材料均不敏感而且对于很小的体积也可以进行准确的测定，因此广泛应用于半导体工业中硅片芯片封装环境的监测以防止晶圆损伤；也应用于大规模集成电路生产线上检查每个密封件是否有缺陷。

检漏系统主要功能包括：
1.自动检测泄漏点。通过在管道内输入含有示踪剂的流体，利用传感器和成像设备探测并记录泄露的位置、大小等数据信息来实现对管线及设备的无损探伤；同时也可以用于储罐的内窥检验，了解其内部腐蚀情况、结疤等情况以及焊缝质量等信息。
2.对危险品油轮船或液化气运输槽车进行在线气体分析，可以对可燃气体的含量变化趋势进行分析预测，并通过仪器自带的控制阀实现惰化保护措施或者充压缩空气置换防爆电泵的作用来防止由可燃混空所引起的事故的发生。

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