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真空环境的另一个特点还在于它在较低的温度下、具有进行一定反应的能力，例如在同样温度下，有些反应过程在大气中则难以进行，但是在低压下就十分容易。这就是真空化合物分解和有色金属冶炼的基本原理。

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直联旋片真空泵的返油

　　(1)真空泵的止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。

　　(2)真空泵的两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。

　　(3)真空泵的泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。

　　(4)真空泵的排气阀片损坏 ，应进行调换。

　　注：检查直联旋片真空泵的的极限真空，以压缩式shui银真空计为准

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水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。涡旋分子泵

扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或gong等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入

低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

干式真空泵常见故障：

液体侵入

灰尘堆积

抽取稀有贵重气体

在极限压力下运行

不当的温度波动

温度控制

*抽空

启动泵

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真空泵维修后的安装要求

1.安装前应检查机组紧固件有无松动现象，泵体流道有无异物堵塞，以免泵运行时损坏旋片和泵体。

2.安装时管道重量不应加在泵上，以免使泵变形。

3.安装时必须拧紧地脚螺栓，以免起动时振动太大，影响泵的使用性能。

4.为了维修方便和使用安全，在泵的进出口管路上各安装一只调节阀及在泵出口附近安装一只压力表

5.保证在额定扬程和流量范围内运行，延长泵的使用寿命。

6.安装后拨动泵轴，旋片应无摩擦或卡死现象，否则应将泵拆开检查原因。

德国普发Pfeiffer分子泵控制器TC600适用于：

Pfeiffer TMH071分子泵，Pfeiffer TMH071P分子泵

Pfeiffer TMH261分子泵，Pfeiffer TMH261YP分子泵

Pfeiffer TMH521分子泵，Pfeiffer TMU521分子泵

Pfeiffer TMH1001分子泵，Pfeiffer TMU1001分子泵

Pfeiffer TMH1601分子泵，Pfeiffer TMU1601分子泵

Pfeiffer TPH2101P分子泵，Pfeiffer TPH2101UP分子泵

因离子泵的外壳两侧有一块大的马蹄形磁铁，烘烤温度一般不能超过说明书所规足的温度值。在烘烤时严禁撞击、敲打泵壳。因在高温下撞击、敲打，磁铁的磁性容易，从而影响抽气速率和极限真空，也可能会振断卤素灯或红外加热管中的加热丝。当不处在烘烤时，允许偶尔使用螺钉的木质或塑料端头去适当敲击其外壳，使沉积在阳极内壁和阴极表面的粉尘颗粒脱落，有助于提高抽气速率。

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