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莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵
TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,leybold涡轮分子泵价格,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,leybold涡轮分子泵维护,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。
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广州潽拓光电——维修莱宝Leybold T1600涡轮分子泵,出售二手分子泵
德国莱宝涡轮分子泵部分规格和型号有:
Leybold Turbovac35LS
Leybold Turbovac50
Leybold Turbovac151C
Leybold Turbovac361C
Leybold Turbovac450C
Leybold Turbovac600C
Leybold Turbovac1600C
维修莱宝Leybold T1600涡轮分子泵实拍图
广州潽拓光电科技有限公司——leybold涡轮分子泵
Leybold*早将陶瓷轴承应用于分子泵,其rotor设计充分考虑到加工的应力,leybold涡轮分子泵维修,转动的叶片和定子之间只有0.1毫米。制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时,叶片端部的速度接近超音速。
Leybold TW70LS德国莱宝真空分子泵, Oerlikon TW70LS涡轮分子泵的进气法兰口DN63,抽速可达到66l/s 转速为72000rpm, Oerlikon Leybold TW70LS专门用于Leybold 氦质谱检漏仪。
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