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涡轮分子泵的优点是启动快,耐各种射线的照射,耐大气冲击,无储气和解吸作用,Edwards真空泵维修服务费用,无油蒸气污染或污染*少,可获得洁净的超高真空

nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。

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分子泵广泛应用于高能加SU器、等离子体物理空间研究、原子束分子束系统、表面物理和分析仪器以及高*电子元器件制造等涉及真空技术的半导体产业、电子信息产业、航空航天工业及科研事业等领域。

Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵系列,对于需要长时间正常运行、无碳氢化合物污染、维护量尽可能少和低振动的应用,并且是许多具有挑战性的半导体应用的优选分子泵。大多数 Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵型号均还提供镀镍涂层的内部过流部件和氮气吹扫设备的ZHUAN用耐腐蚀型号。对于实验室应用,STP 磁悬浮涡轮分子泵极为可靠。

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涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。


nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/s。

基本的分子泵系统通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。

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