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平面电机x-y步进工作台的维护与保养平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,台州测试治具,定子是基础平台,测试治具价格, 动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,测试治具多少钱,使用寿命长。而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等,用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽。
提高精度的方法是:1,Hp,Lp,Hc,Lc尽量接近DUT;2,减小测试电流Ix的回路面积&磁通量(关键是分析Ix,要配合使用Guard与Cable小化回路面积);3,使用Gurard与Cable构建地平面中断信号线间的电场连接,虽然会增加信号线的对地电容(对地电容不影响测试结果),但是会减少信号线的互容。Guard与Cable的对地寄生阻抗(Zhg,Zlg)不影响测试结果,电桥平衡时Zlg的两端电压是0,流向Rr的电流不会被Zlg分流,Zhg的分流作用不影响Hp的电压测量。
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