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Agilent TV903 安捷伦涡轮分子泵保养

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真空泵的使用过程注意哪些？

1：真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，温度不得超过80C。

2：真空泵维修保养如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。

3：真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，安捷伦真空分子泵定期保养，然后停止电机

4:真空泵在工作一个月内，经100小时更换润滑油，安捷伦真空分子泵维修费用，以后每个500小时，换油一次

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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵（10-3至10-8托）或极高机械泵（<10-8托）的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行

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分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

　　答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

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