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皮拉尼电阻规也叫做热电阻真空计，它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。

由于不同气压下气体分子热传导能力不同，当给热丝加恒定的电流时，由于气压不同通过气体传导走的热量不同，热丝所保持的温度就不同，inficon检漏仪维护，这导致热丝电阻大小不同，通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。

如果配合电桥测量热丝电阻的变化，将有效提高测量的准确度。这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。

由于不同气体在相同气压时导热性不同，所以这种规需要在不同的使用气体下标定

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在真空表中受大气作用力引起应变元件的是弹性金属管，从化inficon检漏仪，在膜盒真空计中是弹性薄膜。膜盒真空计的结构原理如图 4-2 所示。膜盒真空计中，有一个由应变膜和玻璃外壳构成的一个密封盒，盒内的气体压力已预先抽至0.1Pa 以下，作为参考压力，指针与联动机构安放在玻壳内。当待测压力变化时，应变膜上感受到不同的力，这样就能读出不同的读数。

INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中，测量范围从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）

由于这种真空计的参考压力是0.1Pa，inficon检漏仪调试，这就为测量较低的压力提供了可能。其测量范围为0~10Pa。根据其不同的型号，inficon检漏仪保养费用，可细分为0~2500Pa0~2.5X10'Pa和0~105Pa。这种真空计不受大气压值的影响，一般精度为满刻度值的士1%，可广泛地用于激光器件的研制和生产单位。

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  压力控制仪可在手动和自动两种工况下运行。当开关S打到手动位置时，压力控制仪相当于一个手动微调真空阀，进行手动压力调节；当开关S打到自动位置时，压力控制仪构成一个闭环的自动控制系统，可实现压力定值自动调节其调节过程是：首先由给定单元设定希望控制的压力值，根据具体的被控对象的特性，选择好PID调节单元的比例度艿、积分时间Ti、微分时间Td等参数。英福康真空计保养

当真空测量单元输出一个表征被控真空装置真空室压力高低的电压信号时，压力节单元可将压力设定值与压力测量值进行比较，并将差值进行运算（例如P、PI、PID）；然后通过驱动电路，驱动真空调节阀，改变进入真空室的气体流量，从而使真空室内的压力维持在给定值上。

当然，这是理想的控制状态，实际上，由于压力控制仪的压力调节单元的特性所致，被控压力只能是趋近于给定压力值，并与给定压力值保持允许的偏差范围内。这个偏差值的大小，即表示压力控制仪压力控制精度的高低。英福康真空计保养

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