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XRF用光或其他激发源照射待分析样品,样品中的元素之内层电子被击出后,造成核外电子的跃迁,在被激发的电子返回基态的时候,会出特征光;不同的元素会出各自的特征光,具有不同的能量或波长特性。检测器(Detector)接受这些光,仪器软件系统将其转为对应的信号。这一现象广泛用于元素分析和化学分析,特别是在研究金属,玻璃,EDX-6000 微光斑黄金检测仪哪里有,陶瓷和建筑材料,以及在地球化学研究、法医学、电子产品进料品管
例如,铷和铯就是从光谱中看到了以前所不知道的特征谱线而被发现的.光谱分析对于研究天体的化学组成也很有用.十九世纪初,在研究太阳光谱时,发现它的连续光谱中有许多暗线。不知道这些暗线是怎样形成的,后来人们了解了吸收光谱的成因,才知道这是太阳内部发出的强光经过温度比较低的太阳大气层时产生的吸收光谱.仔细分析这些暗线,把它跟各种原子的特征谱线对照,人们就知道了太阳大气层中含有氢、氦、氮、碳、氧、铁、镁、硅、钙、钠等几十种元素.
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