质量流量计

流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)，将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器，放大后的值和通过显示屏设置的流量值进行比较，用比较值控制调节阀开度，本设备从比较到控制的时间非常短，满足了及时性和准确性的要求。本设计对产品的安装角度和位置不敏感，无需反复校准调零，

本设备可以通过触摸屏设置气体总量，在设定流量下通过时间参数自动计算气体总量，当气体总量达到设定值时，调节阀立即关闭。

本设备可以通过触摸屏设置气体种类，质量流量计原理，气体的种类必须和所测气体一致，每一种气体的各项性能不尽相同，选对气体种类是进行流量和总量控制的前提。

质量流量计产品特点

产品特点，本产品集成触摸显示屏，可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等，操作方便，实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

质量流量计产品对使用气体的要求

要求气体必须洁净且没有颗粒物，没有液体。建议客户在上游气路中安装<30um的过滤器和干燥剂。输入的气体压力必须符合产品的耐压标准，不能超过该产品要求的较大压力，也不能低于流量控制的较低要求。用户有责任按照相关安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，由于不正确的使用所导致的损害本公司不承担任何责任。稳压电源必须按照要求配置，否则由此造成的损失本公司不承担。气路的连接，必须仔细的安装密封管件，确保所有的密封管件经过单独检查并且没有划痕。

质量流量计原理由北京科仪创新真空技术有限公司提供。北京科仪创新真空技术有限公司在行业设备这一领域倾注了诸多的热忱和热情，科仪创新真空一直以客户为中心、为客户创造价值的理念、以品质、服务来赢得市场，衷心希望能与社会各界合作，共创成功，共创辉煌。相关业务欢迎垂询，联系人：通总。