检漏系统-北京科仪创新-SF6真空箱检漏系统





氦质谱检漏仪的特点

北京科仪真空技术有限公司(简称:科仪)出资成立,创建于2015年,注册资金500万。是国内新兴的一家从事真空领域的高新技术企业。

1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;

2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;

3.不会受到主观因素判断的影响;

4.检测的数据;

5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。

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氦质谱检漏法

氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理,SF6真空箱检漏系统,实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,空调检漏系统,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。





氦质谱检漏仪的原理

氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,检漏系统,以一定能量注入质分析器,

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

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