桌面光刻机优势-桌面光刻机-顶旭微控技术有限公司

顶旭光刻机广泛适用于微流控芯片、MEMS器件、光电子器件以及声表面波器件等制备领域。其性能尤其适合高校、科研院所以及企业展开微细加工工艺研究。紧随现代技术的步伐,顶旭桌面微型光刻机的问世为微纳加工注入了新的活力,助力客户在项目目标的实现过程中迈向更高精度、更具创新性的阶段。


顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案


技术参数




曝光光源:紫外LED光源波长:365nm;

曝光面积:4英寸、6英寸可选;

曝光方式:单面接触式定时曝光;

曝光分辨率:2um;

曝光强度:20~200mW/cm2可调;

曝光不均匀性:≤5%;

光源平行性:≤2°;

光源寿命:≥20000h;

电源输入:AC220V±10V,桌面光刻机哪家好,50HZ

功率:250W

重量:25kg

外形尺寸:382(长)*371(宽)*435(高)

工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %

顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,桌面光刻机,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等quan面的微流控解决方案。公司团队拥有丰富的经验和技术积累,持续将专ye知识与创新思维相结合,为客户提供高pin质的解决方案。





曝光操作步骤

1、安装硅片:将待曝光硅片平放在设备的载台上,确保位置准确。

2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。

3、设定曝光参数:使用控制面板设置曝光时间和强度,根据具体需求进行调整。


4、启动曝光:确认参数设定无误后,点击启动按钮,设备将开始进行曝光。

5、监控曝光过程:在曝光过程中,桌面光刻机优势,您可以通过设备界面监控曝光进度,确保一切顺利进行。

6、曝光完成:曝光结束后,设备会发出提示,取出硅片和光刻板。








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